Function WinAndWait(Path : string; Visibility : word) : word;
var
InstanceID : THandle;
PathLen : integer;
begin
{ Преобразуем строку в тип PChar }

PathLen := Length(Path);
Move(Path[1],Path[0],PathLen);
Path[PathLen] := #00;
{ Пытаемся запустить приложение }

InstanceID := Win(@Path,Visibility);
if InstanceID < 32 then { значение меньше 32 указывает на ошибку приложения }
WinAndWait := InstanceID

else begin
Repeat
Application.ProcessMessages;
until Application.Terminated or (GetModuleUsage(InstanceID) = 0);
WinAndWait := 32;
end;
end;

32-битная версия:
function WinAndWait32(FileName:String; Visibility : integer):integer;
var

zAppName:array[0..512] of char;
zCurDir:array[0..255] of char;
WorkDir:String;
StartupInfo:TStartupInfo;
ProcessInfo:TProcessInformation;
begin

StrPCopy(zAppName,FileName);
GetDir(0,WorkDir);
StrPCopy(zCurDir,WorkDir);
FillChar(StartupInfo,Sizeof(StartupInfo),#0);
StartupInfo.cb := Sizeof(StartupInfo);

StartupInfo.dwFlags := STARTF_USESHOWWINDOW;
StartupInfo.wShowWindow := Visibility;
if not CreateProcess(nil,
zAppName, { указатель командной строки }
nil, { указатель на процесс атрибутов безопасности }
nil, { указатель на поток атрибутов безопасности }
false, { флаг родительского обработчика }
CREATE_NEW_CONSOLE or { флаг создания }
NORMAL_PRIORITY_CLASS,
nil, { указатель на новую среду процесса }
nil, { указатель на имя текущей директории }
StartupInfo, { указатель на STARTUPINFO }
ProcessInfo) then Result := -1 { указатель на PROCESS_INF }

else begin
WaitforSingleObject(ProcessInfo.hProcess,INFINITE);
GetExitCodeProcess(ProcessInfo.hProcess,Result);
end;
end;